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熊有倫:關(guān)于“籌建IC制造裝備產(chǎn)業(yè)園”的建議
作者: 學(xué)會(huì)秘書處 發(fā)表時(shí)間: 2011-11-30


      11月17日我會(huì)和華中科技大學(xué)科協(xié)成功舉辦了“智能制造與裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家論壇”,邀請(qǐng)7位國(guó)內(nèi)外著名專家作報(bào)告,報(bào)告內(nèi)容豐富,反映了數(shù)字制造、智能制造、網(wǎng)絡(luò)制造等高端、前沿技術(shù),受到全場(chǎng)250多位代表的一致好評(píng)和歡迎。論壇結(jié)束后熊有倫院士親自撰寫了《關(guān)于“籌建IC制造裝備產(chǎn)業(yè)園”的建議》,全文轉(zhuǎn)載如下:


                                         關(guān)于“籌建IC制造裝備產(chǎn)業(yè)園”的建議
                                                                      華中科技大學(xué) 熊有倫

      
     
      中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)和湖北省人民政府共同主辦的“2011中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)暨第六屆湖北科技論壇”于11月16日~17日在湖北武漢舉辦。“智能制造與裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家論壇”是其分論壇之一,于11月17日在華中科技大學(xué)成功召開,論壇主題為智能制造、高端裝備和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。論壇邀請(qǐng)了智能制造領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外知名專家分別介紹了國(guó)內(nèi)外智能制造最新研究進(jìn)展、國(guó)內(nèi)外智能制造科技規(guī)劃與產(chǎn)業(yè)政策、智能制造與區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展等熱點(diǎn)問題。
      集成電路(簡(jiǎn)稱IC)制造是信息產(chǎn)業(yè)的核心和基石,是關(guān)系國(guó)家利益、國(guó)防安全和國(guó)際地位的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),競(jìng)爭(zhēng)非常激烈,發(fā)展非常迅速。IC產(chǎn)品的消費(fèi)市場(chǎng),我國(guó)已經(jīng)是********位,2007年我國(guó)IC市場(chǎng)達(dá)到5600億,當(dāng)時(shí)列世界第二位,現(xiàn)在已經(jīng)列第一位。預(yù)計(jì)2020年將接近3萬億的產(chǎn)值,但是,由于缺乏核心技術(shù)和IC制造裝備,我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)主要生產(chǎn)低端產(chǎn)品, 80%以上的IC裝備還依賴進(jìn)口。IC制造的核心技術(shù)主要由歐洲、日本和美國(guó)幾家企業(yè)壟斷,這限制了我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)的利潤(rùn)空間和發(fā)展領(lǐng)域, 因此必須進(jìn)行產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整。開展IC制造裝備的基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)化是國(guó)家的當(dāng)務(wù)之急,為此,國(guó)家已經(jīng)實(shí)施了重大科技專項(xiàng),支持相關(guān)研究。
      IC產(chǎn)業(yè)具有三大基本特征,第一, 遵循摩爾定律,就是制造精度越來越高;第二,呈現(xiàn)周期性變化,每隔一段時(shí)間產(chǎn)業(yè)鏈就會(huì)出現(xiàn)新的發(fā)展;第三,IC產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)投資密集、技術(shù)密集、人才密集和高度國(guó)際化趨勢(shì),其競(jìng)爭(zhēng)異常激烈。鑒于以上幾點(diǎn),國(guó)家中長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃非常重視IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,特別是列入二個(gè)重大科技專項(xiàng): 核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品專項(xiàng)(簡(jiǎn)稱核高基專項(xiàng))和極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)(簡(jiǎn)稱IC裝備與成套工藝專項(xiàng))。
     “IC裝備與成套工藝專項(xiàng)”是整體提升信息制造和裝備制造業(yè)的一個(gè)核心。開發(fā)集成電路制造業(yè)的關(guān)鍵制造裝備,掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝和所需要的新材料技術(shù),對(duì)擺脫我國(guó)高端集成電路制造設(shè)備工藝完全依靠進(jìn)口的狀況,確保國(guó)家安全和經(jīng)濟(jì)安全具有極其重要的意義。IC制造裝備既是高端制造設(shè)備,又是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè), 其創(chuàng)新能力是我國(guó)電子信息制造業(yè)繼續(xù)向高端發(fā)展的關(guān)鍵。2008年4月,國(guó)務(wù)院通過了全面啟動(dòng)重大專項(xiàng)的決定,已經(jīng)擬定出重大專項(xiàng)“十二五”規(guī)劃。主要任務(wù)是建立關(guān)鍵制造與測(cè)試裝備,先進(jìn)材料工程化研究平臺(tái)或?qū)嶒?yàn)生產(chǎn)線;研制一些關(guān)鍵設(shè)備,比如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)及等離子注入機(jī)等。重大專項(xiàng)的中長(zhǎng)期目標(biāo)是: 2010年以前達(dá)到65或45納米,2015年達(dá)到32或22納米,到2020年基本上趕上世界先進(jìn)水平。
      國(guó)內(nèi)IC制造裝備的生產(chǎn)廠家主要集中在北京、上海, 少部分在深圳和遼寧。北京市作為”IC裝備與成套工藝專項(xiàng)”的主要實(shí)施部門之一,得到市政府的高度重視和支持,承諾配套設(shè)施與資金;上海市專門成立了重大科技專項(xiàng)辦公室,由市長(zhǎng)韓正親自負(fù)責(zé)抓, 重點(diǎn)支持光刻機(jī)等IC裝備產(chǎn)業(yè)化。武漢光谷經(jīng)過十多年的建設(shè), 已經(jīng)成為一顆耀眼的明珠, 光電子微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速, 對(duì)電子制造裝備的需求越來越大。湖北省武漢市可以充分利用自身的比較優(yōu)勢(shì)和有利條件, 抓住時(shí)機(jī), 實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展。一方面, 武漢市的裝備制造基礎(chǔ)較好, 如武重、武船、武鍋、長(zhǎng)動(dòng)、461和471等都是有很長(zhǎng)歷史的骨干裝備制造企業(yè); 在東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)成長(zhǎng)了一批高新技術(shù)企業(yè), 如烽火集團(tuán)、華中科技、中芯國(guó)際、華中數(shù)控等, 這些企業(yè)構(gòu)成了較完備的裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈。另一方面, 武漢市的研發(fā)基礎(chǔ)較好, 具有人才和技術(shù)優(yōu)勢(shì), 擁有數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、制造裝備數(shù)字化國(guó)家工程中心和光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室,以及相關(guān)的產(chǎn)業(yè)化平臺(tái),為IC裝備的研究開發(fā)創(chuàng)造了良好的條件。例如華中科技大學(xué)開發(fā)的我國(guó)第一臺(tái)高性能RFID裝備,已經(jīng)形成批量生產(chǎn),對(duì)于RFID的應(yīng)用和推廣具有重要推動(dòng)作用, 是物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的重要技術(shù)支撐和核心環(huán)節(jié)。目前已經(jīng)開發(fā)了兩代產(chǎn)品,并且實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化,均具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)。在研發(fā)過程中得到國(guó)家多項(xiàng)重大項(xiàng)目的資助,比如國(guó)家自然科學(xué)基金重大項(xiàng)目、國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究973項(xiàng)目、863重大項(xiàng)目、發(fā)改委關(guān)于產(chǎn)業(yè)化的項(xiàng)目以及國(guó)家重大專項(xiàng)等。從2006年以來, 研制出新一代全自動(dòng)RFID裝備,開發(fā)了自動(dòng)化的引線鍵合機(jī),多種產(chǎn)品在深圳市高交會(huì)上展出, 通過了專家鑒定,去年已經(jīng)通過科技部的驗(yàn)收,正在進(jìn)行裝備的產(chǎn)業(yè)化。武漢市的人才和技術(shù)優(yōu)勢(shì)表現(xiàn)在基礎(chǔ)研究成果多,產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目多, 人才密集, 研發(fā)水平得到專家們的認(rèn)可。但是如何將研究成果與國(guó)家經(jīng)濟(jì)的發(fā)展緊密相結(jié)合, 如何與區(qū)域經(jīng)濟(jì)的發(fā)展實(shí)現(xiàn)協(xié)同配合,是一個(gè)亟待解決的課題。
      武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)的組建是中央領(lǐng)導(dǎo)對(duì)武漢市比較優(yōu)勢(shì)的肯定, 也是中央領(lǐng)導(dǎo)對(duì)武漢市的殷切期望, 其建立將加快提升武漢市的自主創(chuàng)新能力。我們可以利用湖北省、武漢市的這些有利條件, 加快武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)的建設(shè), 為實(shí)現(xiàn)中部崛起做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。為此提出以下三點(diǎn)建議:
      第一、盡快籌建IC制造裝備產(chǎn)業(yè)園。統(tǒng)一部署, 統(tǒng)一規(guī)劃, 集中力量, 在東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)組建IC裝備制造產(chǎn)業(yè)園, 整合湖北省武漢市電子制造工藝、材料、裝備各方面的優(yōu)勢(shì),加快發(fā)展IC裝備(包括微電子和光電子裝備)制造業(yè), 力爭(zhēng)五年后產(chǎn)值達(dá)500~1000億, 成為IC裝備制造業(yè)的重要基地, 成為示范區(qū)的一個(gè)亮點(diǎn)。
      第二、加強(qiáng)湖北省、武漢市和示范區(qū)對(duì)IC制造裝備產(chǎn)業(yè)園的領(lǐng)導(dǎo)、支持和資助。大力引進(jìn)國(guó)內(nèi)外IC制造裝備企業(yè)在產(chǎn)業(yè)園內(nèi)生根發(fā)展的同時(shí), 積極培育和扶持有創(chuàng)新能力的和有發(fā)展前景的中小型IC制造裝備企業(yè), 營(yíng)造良好的創(chuàng)業(yè)環(huán)境, 引領(lǐng)企業(yè)實(shí)現(xiàn)超越發(fā)展。
      第三、以企業(yè)為主體,市場(chǎng)為導(dǎo)向, 產(chǎn)學(xué)研結(jié)合構(gòu)建產(chǎn)業(yè)發(fā)展和自主創(chuàng)新體系。成立若干電子制造工程技術(shù)中心和產(chǎn)品創(chuàng)新平臺(tái), 提供 IC裝備及其工藝、材料的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和技術(shù)服務(wù), 提升企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新能力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)能力。

                                                                           二○一一年十一月三十日

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