2019年11月11日上午，由中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)微納制造技術(shù)分會(huì)主辦，西安交通大學(xué)、大連理工大學(xué)、陜西省機(jī)械工程學(xué)會(huì)承辦的“中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)微納制造技術(shù)分會(huì)學(xué)術(shù)論壇暨第二屆一次委員會(huì)議”在廣州科學(xué)城會(huì)議中心召開(kāi),參會(huì)委員及會(huì)議代表共計(jì)91人。
中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)副秘書(shū)長(zhǎng)左曉衛(wèi)致辭，肯定了分會(huì)的工作，指出分會(huì)未來(lái)可以適當(dāng)擴(kuò)大會(huì)員規(guī)模，進(jìn)一步加強(qiáng)國(guó)際化交流與合作。分會(huì)主任委員蔣莊德院士致開(kāi)幕辭，他指出在大家的共同努力下，微納制造技術(shù)分會(huì)完成了分會(huì)的各項(xiàng)工作，舉辦了多次國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)交流活動(dòng)，發(fā)展了新會(huì)員，推動(dòng)了微納制造技術(shù)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)化，形成了多種高精產(chǎn)品，參與了國(guó)家創(chuàng)新發(fā)展與建設(shè)的各個(gè)方面，完成了上級(jí)交給的工作。
會(huì)議討論并確定了2020年微納制造技術(shù)分會(huì)會(huì)議的召開(kāi)時(shí)間與地點(diǎn)，明石創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院將承辦會(huì)議。
會(huì)議討論并通過(guò)了設(shè)立中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)微納傳感技術(shù)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽的議題。該項(xiàng)議題由蔣莊德院士提出，他指出大賽的設(shè)立將彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)賽事在該領(lǐng)域的部分空缺。該項(xiàng)賽事旨在推動(dòng)微納技術(shù)創(chuàng)新，培養(yǎng)相關(guān)領(lǐng)域研究人員的創(chuàng)新意識(shí)，發(fā)掘優(yōu)秀創(chuàng)新成果，加快微納技術(shù)與傳感器的智能應(yīng)用等。趙立波教授進(jìn)行了相關(guān)內(nèi)容的詳細(xì)介紹。
與會(huì)人員對(duì)微納制造技術(shù)分會(huì)今后的發(fā)展提出了建議與意見(jiàn)。蔣院士指出“中國(guó)在某些微納技術(shù)領(lǐng)域被西方發(fā)達(dá)國(guó)家扼住了喉嚨，我們需要弄清楚哪些是真的被扼住了，哪些是假的，更要弄清楚我們?cè)谀男┓矫娑笞×藢?duì)方的喉嚨。”大家反響熱烈，紛紛發(fā)表自己的看法和建議。
會(huì)上有7位專(zhuān)家學(xué)者作學(xué)術(shù)交流報(bào)告。
哈爾濱工業(yè)大學(xué)張飛虎教授作了題為“KDP晶體飛切加工技術(shù)”的學(xué)術(shù)交流匯報(bào)。張飛虎教授首先介紹了KDP晶體的特點(diǎn)、NIF激光光路以及KDP晶體的應(yīng)用，接下來(lái)針對(duì)切削等傳統(tǒng)加工方法的缺陷討論了飛切加工KDP晶體過(guò)程中存在的問(wèn)題。最后通過(guò)表面形貌仿真與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，探究加工機(jī)理工藝以及加工表面微波紋形成機(jī)制及其抑制措施。
清華大學(xué)的李勇教授作了題為“微細(xì)電加工技術(shù)”的學(xué)術(shù)報(bào)告，報(bào)告探討了微細(xì)電火花加工以及微細(xì)點(diǎn)解加工的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題。
華中科技大學(xué)的劉勝教授作了題為“Modeling based development and challenges of key electronic manufacturing chain equipment”的學(xué)術(shù)報(bào)告。劉勝教授報(bào)告內(nèi)容非常豐富，主要內(nèi)容有“Development and challenges of CVD”、“Typical design and simulation”、“Nano-grinding for TSV contained wafer thinning”等。
蘇州大學(xué)陳林森教授作了題為“柔性微納光制造的研究進(jìn)展與應(yīng)用”的學(xué)術(shù)報(bào)告。陳林森教授介紹了微納光制造的研究與應(yīng)用以及柔性光電子材料、器件，深入介紹了其自主研發(fā)微納光制造平臺(tái)體系的前沿與共性關(guān)鍵技術(shù)，還介紹了微納3D光刻直寫(xiě)設(shè)備以及套準(zhǔn)納米壓印的工業(yè)化等豐富內(nèi)容。
浙江大學(xué)居冰峰教授作了題為“維納制造過(guò)程的顯微成像”的學(xué)術(shù)報(bào)告。居冰峰教授主要介紹了微納制造表面形貌測(cè)量以及微納制造亞表面缺陷測(cè)量?jī)纱蠓矫娴膬?nèi)容。在微納制造表面形貌測(cè)量方面，居冰峰教授通過(guò)在線監(jiān)控的切割力圖譜探究了結(jié)構(gòu)陣列缺陷形狀的在線測(cè)量與缺陷修復(fù)；在微納制造亞表面缺陷測(cè)量中主要介紹了高頻表面波與亞表面缺陷相互作用機(jī)理探究。
中北大學(xué)薛晨陽(yáng)教授作了題為“MEMS傳感器與以醫(yī)用儀器研究”的學(xué)術(shù)報(bào)告。薛晨陽(yáng)教授主要介紹了其課題組研發(fā)的MEMS矢量水聲傳感器、基于水聲傳感器的心電心音監(jiān)測(cè)儀以及基于CMUT的超聲成像乳腺成像儀器，并且介紹了相關(guān)分辨性、標(biāo)定測(cè)試以及透聲封裝等重要內(nèi)容。
華中科技大學(xué)的陳修國(guó)教授作了題為“面向IC制造的納米光學(xué)測(cè)量現(xiàn)狀、挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì)”。在現(xiàn)狀方面，主要介紹了納米測(cè)量在IC制造中的作用要求以及實(shí)現(xiàn)途徑等內(nèi)容；對(duì)于挑戰(zhàn)的分析，陳教授主要提出以下幾點(diǎn)：關(guān)鍵尺寸不斷縮小，復(fù)雜三維IC納米結(jié)構(gòu)，新材料不斷引入。陳教授更是對(duì)未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了預(yù)測(cè)，例如信息多樣化的測(cè)量技術(shù)、多模式混合測(cè)量技術(shù)以及極短波長(zhǎng)散射測(cè)量技術(shù)。